【参展信息】马尔文帕纳科晶向定位分析设备亮相Semicon China 2024
展期:2024年3月20日-22日
展馆:上海新国际博览中心
地址:上海市浦东新区龙阳路2345号
联合展位:N2-2618
携手五载,心芯相连,密不可分。3月20日至22日,(Malvern Panalytical)将再次与思百吉旗下另外两家兄弟公司:美国粒子监测系统公司(PARTICLE MEASURING SYSTEMS)和仕富梅(SERVOMEX) 联合参加在上海新国际博览中心举行的Semicon China 2024 上海国际半导体展,为半导体行业带来涉及化合物半导体薄膜测量、晶向定位、超净间粒子监测以及气体传感器等分析测试解决方案。期待您莅临展位,共同探讨分析测试仪器在半导体行业的应用与发展。
N2-2618联合展位效果图
此次,除半导体行业享誉盛名的薄膜分析解决方案外,更是将最新引入公司的晶向定位产品线在Semicon China上进行海报展示和方案推介,Crystal orientation 系列产品进一步丰富了高端XRD产品线,从晶棒、铸锭、切片、到晶圆制程,芯片生产的每一步,都将为您提供高品质、高精度的分析测试,进一步提高您的研发效率和产品良率。值得期待!
半导体行业解决方案
晶向定位系列
XRD
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高分辨衍射
HDXRD
X'Pert3 MRD 和 X'Pert3 MRD XL 高分辨 X 射线衍射仪能够提供完整、无需校准且准确的晶体生长信息,比如材料成分、薄膜厚度、渐变层图谱、晶相和界面层质量。此外,MRD平台还可用于对基板和薄膜中的缺陷进行高分辨率形貌成像,如马赛克特性和缺陷密度。该仪器可用于研究和生产环境中。在生产过程中,它可与自动晶片装载结合使用。解决方案适用于:
用于5G,光通讯,高功率器件以及Si、GaN、GaAs等材料结构质量控制的高分辨X射线衍射仪
全自动测定成分,厚度和结晶质量
非破坏性分析,超高精度
横向均匀性测量
多功能智能衍射
XRD
第三代Empyrean Multicore锐影智能衍射仪,可无需人工干预自行切换光路系统,实现包含多种薄膜材料分析在内的多种广泛的实验。其核心是iCore和dCore模块,借助该模块,您可以在单个批处理中自动采集各种测量类型,得益于有自动组件设置,Empyrean锐影完全兼容受监管环境,可满足多应用需求的科研或研发实验室。
晶圆分析仪
WDXRF
2830ZT晶圆分析仪专门针对半导体和数据存储行业而设计,能提供多种薄膜的厚度和成分信息,为多种晶片(直径达300mm)测定层结构、厚度、掺杂度和表面均匀性。凭借出色的轻元素分析性能(包括硼)和每小时高达25片晶片的样品处理能力,2830 ZT 成为半导体行业中出众的薄膜测量工具。适用于:
Logic,NAND,Flash,PRAM,DRAM,MRAM及圆晶代工制程的过程控制
SAW、BAW、FERAM、GMR/TMR存储器、硬盘
绝缘体和隔层
内部导线和金属膜
镀膜系统鉴定,如CVD、PVD
上海新国际博览中心(SNIEC)
地铁7号线:终点花木路1号出口即到走2号登记大厅
出租车停靠地点:芳甸路花木路路口走2号登记大厅
自驾车:停靠在花木路罗山路路口走3号登记大厅
联合展位位于N2展厅2618展位
Welcome to MP booth
期待与您展馆见!
>>> 关于
的使命是通过对材料进行化学、物性和结构分析,打造出更胜一筹的客户导向型创新解决方案和服务,从而提高效率和产生可观的经济效益。通过利用包括人工智能和预测分析在内的最近技术发展,我们能够逐步实现这一目标。这将让各个行业和组织的科学家和工程师可解决一系列难题,如最大程度地提高生产率、开发更高质量的产品,并缩短产品上市时间。
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