Horos-小型光学粗糙度传感器
德国Fraunhofer IOF 的Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量从微米级到亚纳米级的表面粗糙程度。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。
参数：
测量波长：650nm 灵敏度：ARS＜ 10-4sr-1，rms＜0.5nm 工作距离：＞10mm 测量时间：＜1S 校准定量测量 紧凑尺寸：200×170×65mm3 可选配：与机械臂结合
应用：
将传感器直接集成到光学制造过程中进行质量控制，直接控制探测器矩阵（看曝光时间）和激光功率（手动和自动操作）
散射分布的实时视图
用于检测ARS和BRDF的自动化例程
图形化显示测量结果
对于抛光的不透明表面：根据散射数据计算均方根粗糙度（0 . 5 n m至2 0 n m )和粗糙度功率谱密度函数（空间带宽在0.02μm-1至0.2μm之间）
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