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【PLC】低成本的晶圆位置检测方案

来源:基恩士(中国)有限公司      分类:科技文献 2024-03-26 11:45:06 8阅读次数















在半导体制造过程中,晶圆位置的精确检测是确保产品质量和生产效率的关键环节。而传统的解决方案往往存在这几种课题:

  ■外购专门的晶圆校准器(Aligner)成本较高;

  ■高精度的校准控制难度大;

  ■不同种类的晶圆切换困难。

















推出了【PLC KV-8000 系列+IG 测量传感器】的低成本解决方案

?相比于Aligner 成本更低,性价比高;

提供丰富的高精度校准运算套装,精度优于常规Aligner,XY轴重复误差小于0.1mm;

支持4-12寸的各类Wafer,不透明/半透明/透明/平边/双平边/Notch等多种选择。

我们的晶圆位置检测解决方案已经成功应用于多家半导体企业,并获得了广泛的好评。

点击下方资料来看看吧


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最近更新:2023-09-18 16:20:36
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