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电子半导体行业如何做好AMC防控

来源：深圳市亿天净化技术有限公司分类：商机 2023-12-25 13:51:09 7阅读次数

气态分子污染物(AMC)已经成为影响半导体产品质量的重要因素，主要表现为表面分子污染，这是由气态分子和特定表面作用而形成非常薄的化学膜，化学膜通常改变产品表面的物理、电子、化学和光学特性而导致质量缺陷，造成产品良品率下降。

AMC种类复杂，根据SEMI发布的标准中将AMC分为四类:

1.酸性分子污染物：如HF、SO₂、CL₂等;

2.碱性分子污染物：如NH₃等;

3.有机化合物：如SiH₄，碳氢化合物等;

4.掺杂物：如磷（P)、硼(B）等。

AMC可能来源于无尘室外的汽车排气、大气臭氧、工厂排放等，或是洁净室内的化学溶剂挥发、蚀刻酸气、塑料制品溢散等，由于来源非常广泛，污染物种类繁多，因此如何进行有效防控已经成为行业的一大难题。

考虑到内部和外部AMC污染源的浓度，半导体行业控制AMC需要从多方面来进行。

首先对生产环境进行评估，确定环境中的气态污染物种类和污染程度，然后定制污染控制方案，在新风处理机组（MAU）和风机过滤单元（FFU）上安装化学过滤器，达到多重去除AMC的效果，为了实时掌握AMC含量浓度，还需搭建AMC化学污染物在线监测系统，进行实时监测。

AMC化学污染物在线监测系统

半导体行业AMC控制是一项重要且复杂的任务，除了以上的控制措施，还应加强生产设备的维护和清洁，定期检查和更换可能引起AMC污染的部件，提高对AMC控制的认识、了解AMC的影响，知道如何正确操作和维护设备以减少AMC污染的可能性。

此外，建立规范的操作流程和标准，确保每个生产步骤都符合AMC控制的要求，来有效降低AMC的浓度，保证半导体制造过程的稳定性和产品质量的可靠性。

可以提供空气质量控制、检测、监测一站式综合服务，为电子半导体生产提供定制化的AMC解决方案，高效去除AMC，护航产品良率。

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