半导体SEMI F57中金属元素和总有机碳分析解决方案
前言导读
01
挑 战
02
解决方案
03
小 结
根据标准SEMI F57:用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件要求,评价半导体输送管道的性能,鉴于浸泡液的成分多样性,需要仪器具有极强的抗干扰能力,同时对于洁净与污染的评估需求,需要仪器既具有高灵敏度,又具有宽范围的能力。
德国耶拿长期致力于金属离子及总有机碳分析全套解决方案,深耕元素分析领域,积累众多分析经验。德国品质,追求创新,德国耶拿PlasmaQuant MS电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)和multi N/C UV HS总有机碳分析仪完全满足SEMI F57标准中规定的22种金属离子和总有机碳参数的检测,助力半导体行业的发展!
END
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