净化工程文章-洁净室空调洁净化方案(二)
洁净隧道的特点如下:
(1)在隧道内造成不同的洁净度,从而充分利用了不同洁净气流的特性,Zda限度地满足工艺要求一般情况下,隧道内的两侧是高洁净度的层流工作区,中间是乱流的操作活动区工艺区连成一条线,使用方便,人员的活动也不会引起交叉污染
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